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高低温真空探针台

更新时间:2020-10-16 信息编号:114566978
  • 价格100000
  • 关键词高低温真空探针台,探针台
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高低温真空探针台

产品详情

产品名高低温真空探针台,探针台,面板测试,实验室配套 面向地区全国 类型其它

高低温真空探针台

型号 SCG-O-2 SCG-O-4 SCG-C-2
外形 900*900*530mm 1100*1100*530mm 1100*1100*1030mm
重量 170KG 190KG 290KG
电力需求 AC220V,50~60HZ
样品台 尺寸 2inch 4inch 2inch
样品固定方式 真空导热硅脂/弹簧压片
样品台移动 固定的样品台
真空度 10^-3Pa
光学特性 显微镜行程 2*2inch 4*4inch 2*2inch
放大倍数 变焦:7:1分辨率4μm (放大倍数216X)或者选用金像显微镜(20X~1000X)
真空腔观察窗尺寸 2inch 4inch 2inch
CCD像素 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
温控规格 制冷方式 液氮/液氦 制冷压缩机
控制方式 开循环手动/自动冷媒流量控制 闭循环自动控制
控温范围 77K~480K/4.2K~480K 4.2K~480K
控温分辨率 0.001K
温度稳定性 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K
373K ±0.1K 473K ±0.1K
823K ±0.2K(可选) 973K ±1.0K(可选)
常温到8K冷却时间 90min 150min
8K到常温升温时间 90min 90min
常温开始的升温时间 100℃ 150℃ 200℃
30min 50min 80min
加热电源 LVDC 低压直流
传感器 硅二极管
传感器数量 样品台,防辐射屏,探针臂各一个
功率 50W/100W/500W/1000W
点针规格 探针数量 2个/4个/6个
探针调节 真空波纹管外部调节,手动控制
点针精度 10微米/2微米/0.7微米
X-Y-Z行程 25mm-25mm-25mm
漏电精度 10pA/100fA
接口形式 三轴/SMA/K/光纤接口
应用方向 高低温真空环境下的芯片测试,材料测试,霍尔测试,电磁输运特性等



可选附件 防震桌
多级压缩制冷机
机械泵/分子泵组/离子泵
射频部件
Chuck运动装置
电磁铁系统/超导磁铁系统
1Mpa正压系统升级
温升级选件
真空升级选件
客户特殊定制
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